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氦检机
型号参数
氦检机
设备产能
≥12PPM
产品良率
99.5%（由设备造成的损坏）
设备故障率
≤2%（由设备造成的故障）
稼动率
≥98%
氦气检测时间
≤5s
MTBF（平均无故障时间）
≥4小时（不计＜2min的报警）
不良品检测
漏杀率=0%，过杀率≤0.5%
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稼动率
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不良品检测
漏杀率=0%，过杀率≤0.5%